Differentialinterferometer

Differentialinterferometerdetektorhuvud RLD10-X3-DI används för att mäta den relativa kompenseringen mellan en fast referensspegel och en rörlig mätspegel. Detektorhuvud RLD10-X3-DI lämpar sig särskilt väl för tillämpningar med vakuum och med kontrollerade miljöer. Det är konstruerat för montering på en processkammares externa vägg med enkel trestiftsmontering. Man behöver inte gå in i kammaren för att rikta detektorhuvudet - integrerade strålinriktare medger separat inställning av lutning och gir för referens- och mätstrålen - och monteringssystemets konstruktion medger att detektorhuvudet tas bort och flyttas med minimal effekt på systeminriktningen.

Specifikation

Siffrorna avser huvud RLD10-X3-DI med en RLU20-laserenhet

Egenskaper och fördelar

• Exceptionell mätteknik
  ppb-frekvensstabilitet och ultralågt cyklisk fel som medger utgående upplösningar på 38,6 pm.
• Differentialkonfigurering
  Mäter den relativa positionen för scen respektive pelare, eller detalj respektive verktyg, och eliminerar sådana vanliga lägesfel som rörelse i kammarsidoväggen med samband med variationer i omgivningsförhållandena.
• Snabbriktning
  Enkel riktning från utanför processkammaren med fyra integrerade strålinriktare (lutnings- och girinställning på ± 1° för såväl mät- som referensstrålen) för att klara kammar- och spegelmonteringstoleranser.

Registrera ditt intresse för laserpulsgivarsortimentet.