Case study: RLE20 interferometer enhances performance of Raith’s latest e-beam tool (pdf)
Raith's VB300 e-beam lithography tool is a development of the highly successful VB6 series introduced in 1993. In designing the new tool, Raith identified that a reduction of noise-induced positional errors would significantly improve tool performance. Through a combination of improved mechanical rigidity and integration of the Renishaw RLE20 differential interferometer based encoder system, these errors are now expected to be <3 nm.
Denna typ av fil kräver en läsare. Den kan hämtas ner från Adobe
Senaste - Interferometriska laserpulsgivare
- Renishaw lanserar FORTiS™-serien med den nya generationen inkapslade linjära absoluta pulsgivare
- Renishaw-pulsgivare under 3DHISTECH-mikroskopet
- Renishaw-pulsgivare under 3DHISTECH-mikroskopet
- En ny innovativ pulsgivarskala öppnar för nya möjligheter
- Renishaws HS20 laserpulsgivare erbjuder långsiktigt stöd för kritiska applikationer
Hittade du inte det du sökte efter?
berätta vad du inte hittade så gör vi vårt bästa för att hjälpa till