Hoppa över navigering

Laserpulsgivarapplikationer

Fiberoptiska laserpulsgivare - Halvledare

Applikationsdetaljer

Halvledarindustrin är känd för sina snabba utvecklingscykler för att producera mindre, snabbare och billigare chip. Ett element för att uppfylla dessa mål är att leverera mycket effektiva tillverkningsprocesser som upprätthåller exceptionella kvalitetsnivåer.

Laserpulsgivarsystem används mycket inom halvledarindustrin för att hjälpa till att uppnå dessa mål, genom att tillhandahålla högsta möjliga noggrannhet för viktiga tillverknings- och inspektionsprocesser.

Applikationsfördelar

Viktiga kravRenishaws lösning
Noggrannhet på nanometernivåMäthuvudet RLD10-X3-DI med differentialinterferometer möjliggör direkt mätning mellan pelare och plan eller vakuumapplikationer.
Repeterbarhet under en nanometerRenishaws RLU20 har exceptionell laserfrekvensstabilitet som ger bästa möjliga repeterbarhet i vakuumapplikationer.
Pikometerpplösningar

Genom att använda Renishaws RPI20 är det möjligt att uppnå upplösningar upp till 38,6 pm i ett 36-parallelbitars format.

Erfarenhet

Laserpulsgivar- eller kompenseringsinterferometersystem har använts i halvledarindustrin i många år. Renishaw har tillhandahållit laserpulsgivarlösningar till OEM:s i halvledarindustrin sedan 2005 och har en beprövad erfarenhet av samarbete med och stöd till utrustningstillverkare i denna bransch.




Detektorhuvud RLD10 med differentialinterferometer, Raith-applikation

Fiberoptiska laserpulsgivare - Synkrotron

Applikationsdetaljer

Synkrotroner är en speciell typ av partikelaccelerator som används i vetenskaplig forskning för att utföra olika experiment. Alla dessa experiment har egna unika utmaningar, såsom rörelsestyrningssystem med hög precision, vibrationsanalys eller avvikelsemätningar. Laserpulsgivare eller förskjutningssensorer används i dessa experiment beroende på kraven.

Applikationsfördelar

Viktiga kravRenishaws lösningar
Enkel att rikta upp och installeraRenishaws RLD är utrustade med strålriktningsoptik, och detta tillsammans med den fiberoptiska laserenheten ger ett system som är enkelt att ställa in och rikta upp.
Höga uppdateringsfrekvenserMed RSU10 har USB-gränssnittet kapacitet för en maximal uppdateringsfrekvens på 50 kHz, som antingen kan användas med Renishaws standardprogramvarupaket eller anpassade lösningar med den kostnadsfritt tillgängliga SDK.
Kunskapsdelning och verksamhetspartnerskapAtt förstå och definiera vad som behöver mätas är ofta den första utmaningen. Renishaw har stor erfarenhet av att utveckla verksamhetspartnerskap med sina kunder för att tillhandahålla den bästa lösningen till dem.

Erfarenhet

Synkrotroner finns i hela världen och finns tillgängliga i många olika storlekar. Renishaw har haft möjlighet att arbeta med många av dessa institut för att utveckla en användbar lösning som ofta överträffar de ursprungliga kraven.

RLE ISARA-applikation

Fiberoptiska laserpulsgivare - XY-plan

Applikationsdetaljer

XY-plan används inom väldigt många olika applikationer från tillverkning av stora volymer till test- och forskningsutrustning. XY-plan påverkas ofta av effekten av Abbe-fel. Dessa är vinkelfel i planet som kan orsaka stora positionsfel längst upp på planet. Genom att använda interferometriska pulsgivarsystem och mäta vid den intressanta punkten är det möjligt att eliminera effekten av dessa felkällor.

Applikationsfördelar

Viktiga kravRenishaws lösning
Eliminera abbe- eller plan-felRenishaws RLE-system, med sina kompakta detektorhuvuden, möjliggör enkel montering nära planet. Detta säkerställer att en direkt mätning vid den intressanta punkten enkelt kan uppnås.
Extern värmekällaLaserkällor genererar normalt mycket värme. Med den fiberbaserade utmatningen som Renishaw erbjuder kan laserenheten (RLU) monteras antingen 3 m eller 6 m från arbetsområdet, och därmed förhindras lokal uppvärmning.
Enkel integrering och inställningInterferometerbaserade system är normalt svåra att integrera och ställa in. Genom att utveckla en fiberbaserad lösning med en kompakt interferometer och detekteringsmetod har Renishaw kombinerat mätprestandan hos interferometerpulsgivare med den enkla installation som normalt används för vanliga optiska pulsgivare.

Erfarenhet

Renishaw har mer än 20 års erfarenhet av att integrera interferometerbaserade pulsgivarlösningar i ett mycket stort antal applikationer, från den tuffa miljön i CNC-verkstäder till de hårda prestandakraven i halvledarindustrin.

Denna erfarenhet har utvecklats från arbete med ett stort antal OEM och planbyggare och att utveckla dessa nära samarbeten. Att hjälpa till med att integrera interferometerpulsgivarsystem i deras nästa generations produkter leder till konstanta teknologiska framsteg.

RLE-system på XY-plan


Bilden tillhandahållen av Aerotech.

Laserpulsgivare med lång räckvidd - Flygindustrin

Applikationsdetaljer

Flygindustrin drivs av att uppnå snäva toleranser på de största detaljerna, och genom att använda laserinterferometerbaserade pulsgivarlösningar har det varit möjligt att uppnå detta. På stora CNC-maskiner som normalt används för vingbalkar eller flygplanskroppar behöver de längre maskinaxlarna ofta vara 30 m långa eller mer. På dessa har Renishaws HS20-system tillsammans med RCU10-kompensatorn kapacitet att uppnå en noggrannhet på ±30 µm över en axel på 30 m.


Applikationsfördelar

Viktiga kravRenishaws lösning
Mätning på långa avstånd i tuffa miljöerRenishaws laserhuvud HS20 har kapacitet för mätavstånd upp till 60 m. Med en beprövad historik av tillförlitlig användning under de mest utmanande förhållandena behåller HS20 sin position som marknadsledande inom detta fält.
Kontaktfria mätsystemOm direkt mätning används elimineras de fel som finns i återkopplingssystem med rack och pinjong eller kulskruv, såsom hysteres, bakslag, mekaniskt slitage och cykliska fel.
Kompensering för arbetsstycke och maskinstrukturRCU10-kompenseringssystemet innehåller integrerade moduler som är konstruerade för värmeutvidgning av maskinstruktur och arbetsstycke, och upprätthåller därför noggrannheten över långa bearbetningscykler.

Erfarenhet

I samarbete med flygplanstillverkare och stora CNC-maskinbyggare i hela världen har Renishaw ett stort antal laserinterferometersystem installerade och i drift idag.

Dessa interferometerbaserade system används på maskiner för att bearbeta legeringsmaterial med flygindustrispecifikationer, till de kolfiberkompositmaterial som används på dagens moderna flygplan. Alla dessa applikationer kräver de snävaste toleranserna på de största delarna, vilket är enkelt att uppnå med Renishaws interferometerbaserade pulsgivarsystem.

HS20-applikation

Laserpulsgivare med lång räckvidd - CMM

Applikationsdetaljer

Koordinatmätmaskiner (CMM) använder normalt optiska pulsgivare, men för större CMM där noggrann och repeterbar prestanda krävs väljs allt oftare laserinterferometerpulsgivare i denna bransch.

CMM har normalt traversbaserade konstruktioner, och på större CMM kan förvrängningsfelet som genereras från denna traves orsaka stora positionsfel. Genom att använda interferometerpulsgivare längst upp på traversen är det dock möjligt att eliminera förvrängningsfel.

Applikationsfördelar

Viktiga kravRenishaws lösning
Mätning över långa avståndRenishaws laserpulsgivaralternativ har kapacitet att mäta på långa avstånd på upp till 60 m med HS20 och 4 m med RLE.
Intressant punktDe viktiga fördelarna med pulsgivarsystem med laserinterferometer är möjligheten att enkelt mäta vid den intressanta punkten.
Enkel installation och uppriktningRenishaws system använder en synlig ljuskälla som när den kombineras med en enkel 0 till 1 V utmatning från laserkällan för signalstyrka säkerställer enkel installation och uppriktning.

Erfarenhet

Renishaw har utvecklat många samarbetsförhållanden genom att arbeta tillsammans med OEM:s, med att tillhandahålla lösningar som har kapacitet att uppnå kundens specificerade mätprestanda. Att förstå maskinens metrologiramverk är avgörande för att utveckla korrekt lösning.

CMM-inspektionsbild

Laserpulsgivare med lång räckvidd - LCD

Applikationsdetaljer

När teknologin i LCD-industrin utvecklas så utvecklas också maskinerna som används för att tillverka och kontrollera dessa produkter. Stora skärmstorlekar med små mått leder till högre prestanda från metrologisystemet på maskinen. Laserpulsgivare är en lösning med kapacitet att uppfylla dessa krav.

Applikationsfördelar

Viktiga kravRenishaws lösning
Intressant punktFör stora XY-planapplikationer där övertagna Abbe-fel påverkar maskinens precision. Renishaws laserpulsgivarlösningar möjliggör direkt mätning vid den intressanta punkten.
Beprövad teknologi i liknande branscherRenishaws laserpulsgivarlösningar har använts i halvledarindustrin i ett antal år, där de har visat sig vara tillförlitliga och har kapacitet att leverera samma nivå av prestanda som nya, även efter åratal av kontinuerlig användning.
Mätning med hög prestandaMed analoga signalperioder på 158 eller 316 nm har laserinterferometerpulsgivare kapacitet att leverera interpolerade upplösningar på pikometernivå.

Erfarenhet

Erfarenheten som Renishaw har fått vid arbete med OEM:s och planbyggare används för att minimera integreringstiden. Erfarenhet och kunskap om dessa olika applikationer betyder att vi snabbt kan identifiera det mest lämpliga interferometriska pulsgivarsystemet för din applikation.

LCD-inspektion (Getty Images)