Rörelsestyrningsprodukter för miljöer med ultrahögt vakuum

På Vacuum Expo som hölls på International Centre i brittiska Telford 3–4 november fokuserade Renishaw på de lägespulsgivare som konstruerats särskilt för användning i omgivningar med ultrahögt vakuum.

26 oktober 2011

Bland de produkter som visades finns den nya serien TONiC™ UHV-pulsgivare som finns i linjärt och vinklat utförande. Dessa givare kombinerar fördelarna hos ytterst noggranna linjära mätskalor med optiska referensmärken, lägesinformation med hög noggrannhet samt oöverträffad robusthet med snabb och enkel installation.

Alla UHV-pulsgivare från Renishaw är konstruerade i vakuumkompatibla material och limmaterial som ger låga förångningsvärden. De har även testats avseende gasrenhet (RGA-provning), och passar även för bakningstemperaturer på 120 °C. De passar alla typer av högteknologiska uppgifter inom halvledarbranschen och även vetenskapliga uppgifter.

Precis som standardserien TONiC-läshuvuden använder även de nya modellerna för ultrahögt vakuum den senaste generationen filtreringsoptik från Renishaw – numera optimerad för att ge ultralågt brus. Den avancerade optiken förstärks ytterligare genom dynamisk signalbearbetning inklusive automatisk förstärkningsreglering (AGC-Auto Gain Control) och automatisk förskjutningsreglering (AOC-Auto Offset Control). Detta ger utsignaler som är exceptionellt rena och ger ett SDE-fel på bara ±30 nm, ett brus (jitter) på cirka 0,5 nm RMS och upplösningar ned till 1 nm.

Alla TONiC-mätskalor har det unika optiska referensmärket IN-TRAC™ som är direkt inbäddat i den inkrementerande kanalen och underlättar automatisk elektronisk fasförskjutning med en knapptryckning – funktionen kan därmed utföras med fjärrmanövrering. IN-TRAC-referensmärket har också den fördelen att det ligger i rätt fas vid alla hastigheter och genom hela drifttemperaturintervallet.

För linjär positionsinformation med TONiC UHV-serien, kan systemkonstruktörer välja mellan ett antal olika mätskalor. Samtliga har bevisat rena RGA-spektra, inklusive RELM Invar-givare med en värmeexpansionskoefficient på ”noll” och fullständig noggrannhet som garanteras vara bättre än ±1 µm på längder upp till 1 130 mm. I samma serie finns även mycket noggranna RSLM-givare i rostfritt stål med RTLC-mätskalor i rostfritt stål, samt Renishaws välkända RGSZ-mätskala.

För roterande tillämpningar kan TONiC UHV vinklad pulsgivare med läshuvud användas – modellen är kompatibel med Renishaws noggrant graderade roterande mätskalor med IN-TRAC optiska referensmarkeringar, inklusive RESM- och REXM-ringar med ultrahög noggrannhet. RESM-ringarna är tillverkade i monolitiskt rostfritt stål (300-serien) utan någon beläggning, vilket betyder att de kan genomgå specialistrengöring och avfettning vid behov. För att förenkla konstruktionen har ringarna också ett stort genomgående hål med ett litet tvärsnitt, och ett patenterat koniskt fäste för fininställning av marginalen. För roterande axlar med extra hög prestanda kan konstruktörer välja REXM-ringar med ultrahög noggrannhet. Dessa kan också användas med dubbla UHV-läshuvuden för att få en total installationsnoggrannhet som är bättre än ±1 bågsekund.

Mer om det här sortimentet hittar du under pulsgivarprodukter.

Nyhetsuppdateringar

Registrera dig och få regelbundna nyhetsuppdateringar från Renishaw