Hoppa över navigering

TONiC™ UHV inkrementellt pulsgivarsystem med RELM20 linjär skala

Egenskaper

  • Läshuvudstorlek: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Upplösningar ner till 1 nm
  • Hastighet upp till 10 m/s
  • Analog eller digital utmatning
  • Extremt lågt Sub-Divisional Error (SDE): normalt < ±30 nm
  • Optisk IN-TRAC™ referensmarkering

Fördelar

  • UHV (Ultrahögt vakuum)
  • Mycket hög noggrannhet kombinerat med nära noll värmeutvidgning
  • Superkompakt pulsgivare med dynamisk signalbehandling för förbättrad rörelsestyrning
  • Diagnostikpaketet för att underlätta utmanande installationer och hjälpa till med systemoptimering.
Genomskinligt område för webbplats-banners

Vad är TONiC UHV?

TONiC UHV tar med sig Renishaws kompakta, kontaktfria pulsgivarsystem till ultrahögt vakuum och erbjuder kunderna förbättrad rörelsestyrning.

TONiC möjliggör hastigheter upp till 10 m/s och, när det kombineras med Ti-gränssnittet, upplösningar ner till 1 nm, för både linjära och roterande applikationer. TONiC-system är snabba och enkla att installera med stora inställningstoleranser och kalibrering med en knapptryckning. TONiCs dynamiska signalbehandling ger förbättrad signalstabilitet med ett extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error) på normalt < ±30 nm för att hjälpa till att uppnå överlägsen prestanda för rörelsestyrning.

Vad är RELM20-skalan?

RELM20 är en givarskala tillverkad av ZeroMet™, en nickel/järnlegering med låg utvidgning, med 20 µm upplösning.
Den är jämförbar med glasskalor med hög upplösning och har en total noggrannhet (inklusive lutning och linearitet) som är bättre än ±1 µm över en längd på 1,5 m. ZeroMet har en värmeutvidgningskoefficient på 0,75 ±0,35 µm/m/°C vid 20 °C.
Systemkonstruktörer kan välja mellan speciellt framtagen UHV-kompatibel självhäftande tejp eller mekaniska klämmor för att passa monteringskraven. Båda monteringsmetoderna möjliggör oberoende värmeutvidgning från den för substratet.

Varför välja detta pulsgivarsystem?

UHV (Ultrahögt vakuum)

Läshuvudet TONiC UHV tar prestandan hos standard TONiC och levererar den i ett läshuvud som har utformats och konstruerats med UHV-kompatibla material och processer, vilket gör den lämplig för UHV-miljöer ner till 10-10 Torr.
Utbudet av TONiC UHV-pulsgivare och tillbehör är tillverkade av vakuumkompatibla material och limmaterial för att ge låga förångningsvärden och beprövat ren restgasanalys (RGA), vilket gör dem lämpliga för många applikationer, inklusive hantering/testning av halvledarskivor, vetenskapliga instrument, spektroskopi, vakuumkontrollutrustning och mycket mer.

Enkel att hantera

RELM20 ZeroMet-skalan med låg värmeutvidgning har ett mycket mindre tvärsnitt än vanliga glasskalor och är enklare att hantera och installera utan risk att den går sönder, vilket gör den idealisk för de mest krävande precisionsapplikationerna.

Enastående mätprestanda

TONiC-pulsgivare använder Renishaws beprövade filtreringsoptik och avancerad signalbehandling. Auto Gain Control (AGC) och Auto Offset Control (AOC) teknologierna reducerar det analogt signalbrus och digitalt jitter i läshuvudet.

TONiC-pulsgivare erbjuder enastående lågt signalutgångsjitter på <±0.5 nm RMS och lågt Sub-Divisional Error på <±30 nm, så att systemen kan hålla positionen bättre och alstra mindre värme i linjära motorapplikationer. Lågt jitter möjliggör även jämnare hastighetskontroll i högprecisionsapplikationer vid manövrer i låg hastighet.

Flexibel konfiguration

TONiC-serien erbjuder ett antal externa gränssnitt som kan konfigureras till att uppfylla användningsområdets krav på hastighet och upplösning. Med integration av sena steg och konfiguration av externa gränssnitt, erbjuder ett mångsidigt TONiC-läshuvud många alternativ för slutanvändarens anpassning.

TONiC-gränssnittets alternativ erbjuder digitala, analoga eller dubbla utgångar med både digitala och analoga signaler. TD (dual resolution) gränssnittet erbjuder valbar utmatning i dubbel upplösning, och DPI-gränssnittet finns även tillgängligt för applikationer med utskrift i brett format. Flexibiliteten hos TONiC-pulsgivarens konfigurationer tillåter OEM:er att dra nytta av överlägsen rörelsestyrning och hög genomströmning i många olika applikationer.

Alternativ för gränssnitt

TD-gränssnitt (dual resolution)

  • Valbar kvadraturutmatning med dual-resolution. Ti-gränssnitt (rektangulärt)
  • Idealiskt för applikationer som kräver höghastighetsrörelser kombinerat med rörelser med högre upplösning.

DOP-gränssnitt (dual output)

  • Ger samtidiga digitala kvadratur- och 1 Vpp-signaler.
  • Konstruerad för applikationer som kräver att en eller flera åtgärder synkroniseras med en rörelseaxel.TONiC Dual Output (DOP)-gränssnitt

Tillbehörspaket för diagnostik

TONiC™ diagnostikpaket (programvara och hårdvara)

TONiC diagnostikprogramvara kan användas för att optimera installationen av TONiC-pulsgivare och möjliggör snabb och fullständig systemkalibrering. Programvaran måste användas tillsammans med TONiC-diagnostikhårdvaran som kan beställas från Renishaw med detaljnummer A-9411-0011. Hårdvaran ansluts till en PC via en USB-kabel (medföljer i paketet) eller med kundens elektronik.

Läs mer om TONiC-diagnostikpaketet.

Tekniska data

Mätningsstandard

RELM20: ZeroMet-givarskala med hög noggrannhet med mittpunktsreferensmarkering

Även tillgänglig med ändreferensmarkering som RELE20

Läshuvudsstorlek (LxBxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skalans upplösning

20 μm

Värmeutvidgningskoefficient vid 20 °C

0,75 ±0,35 μm/m/°C

Noggrannhetsklass vid 20 °C

Certifierad till ±1 μm, kalibreringen är spårbar till internationella standarder

Referensmarkering

IN-TRAC-referensmarkering

Olika alternativ för referensmarkeringspositioner, se databladet för detaljerad information

Gränslägesbrytare

Dubbelt eller enkelt gränsläge (välj vid beställningstillfället)

Skalans längd

20 mm till 1.5 m

Maximal hastighet

Analog

Digital

(Se datablad för detaljerad information)

Upp till 10 m/s vid -3 dB

Upp till 10 m/s

SDE (Sub-Divisional Error)

Normalt < ±30 nm

Dynamisk signalstyrning

Signalbearbetning i realtid inklusive AGC (Auto Gain Control) och AOC (Auto Offset Control) för optimerad prestanda under användning

Inkrementella signaler

Analog

Digital


1 Vpp (20 μm period)

Upplösningar från 5 µm till 1 nm

Elektrisk anslutning

Kabellängder på 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m och 10 m med minikontakt (ansluts direkt till TONiC-gränssnittet)

Strömförsörjning

5 V ±10 %, < 100 mA (analogt system), < 200 mA (digitala system) (ej terminerad)

Läshuvudets energiförbrukning< 100 mA

Vibration (under drift)

100 m/s2 max @ 55 Hz till 2 000 Hz

Stötar (ej under drift)

1 000 m/s2, 6 ms, ½ sinus

Drifttemperatur (system)

0 °C till +70 °C

Bake out-temperatur (ej under drift)

120 °C (endast läshuvud och skala)

Försegling

Läshuvud: IP20

Gränssnitt: IP20

Kabelutförande

Förtennad, kopparflätad, enkelavskärmad, FEP-kärneisolering

Se datablad för fullständig information.