Hoppa över navigering

TONiC™ UHV inkrementellt pulsgivarsystem med RESM20 roterande (vinkel) ring

Egenskaper

  • Läshuvudstorlek: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Upplösningar ner till 1 nm
  • Hastighet upp till 3 673 rpm
  • Extremt lågt Sub-Divisional Error (SDE): normalt < ±30 nm
  • Optisk IN-TRAC™ referensmarkering

Fördelar

  • UHV (Ultrahögt vakuum)
  • Lågprofilring med stor innerdiameter för enkel integrering
  • Superkompakt pulsgivarläshuvud med dynamisk signalbehandling för förbättrad rörelsestyrning
  • Diagnostikpaketet för att underlätta utmanande installationer och hjälpa till med systemoptimering.
Genomskinligt område för webbplats-banners

Vad är TONiC UHV?

Med TONiC UHV kan Renishaws superkompakta, beröringsfria pulsgivarsystem användas med Ultrahögt vakuum-applikationer, vilket möjliggör för kunderna att uppnå förbättrad rörelsestyrning.
TONiC möjliggör hastigheter upp till 10 m/s och, när det kombineras med Ti-gränssnittet, upplösningar ner till 1 nm, för både linjära och roterande applikationer. TONiC-system är snabba och enkla att installera med stora inställningstoleranser och kalibrering med en knapptryckning. TONiCs dynamiska signalbehandling ger förbättrad signalstabilitet med ett extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error) på normalt < ±30 nm för att hjälpa till att uppnå överlägsen prestanda för rörelsestyrning.

Vad är en RESM20-ring?

RESM20 är en ring tillverkad i ett stycke i rostfritt stål med gradering med 20 µm upplösning, markerad direkt på omkretsen, med IN-TRAC™ optisk referensmarkering. Två versioner finns tillgängliga i flera olika storlekar (Ø52 mm till Ø550 mm). "A"-sektionringar, som har en imponerande installerad noggrannhet, har ett koniskt monteringssystem som minskar behovet av bearbetade delar med hög tolerans och eliminerar excentriciteten. ”B”-sektionringar, som är tunna och har låg tröghet och massa, finns också tillgängliga. Både "A"- och "B"-sektionringar har en stor innerdiameter för flexibel integration i UHV-applikationer. Det beröringsfria formatet eliminerar glapp, axelvridning (torsion) och andra mekaniska hysteresfel som påverkar traditionella kapslade pulsgivare.

Varför välja detta pulsgivarsystem?

UHV (Ultrahögt vakuum)

Läshuvudet TONiC UHV tar prestandan hos standard TONiC och levererar den i ett läshuvud som har utformats och konstruerats med UHV-kompatibla material och processer, vilket gör den lämplig för UHV-miljöer ner till 10-10 Torr.
Utbudet av TONiC UHV-pulsgivare och tillbehör är tillverkade av vakuumkompatibla material och limmaterial för att ge låga förångningsvärden och beprövat ren restgasanalys (RGA), vilket gör dem lämpliga för många applikationer, inklusive hantering/testning av halvledarskivor, vetenskapliga instrument, spektroskopi, vakuumkontrollutrustning och mycket mer.

Ultimat pålitlighet och prestanda med en kompakt storlek

För bästa tillförlitlighet och konsekventa prestanda har TONiC-läshuvuden tredje generationens filtreringsoptik som justerats för ännu lägre brus (jitter), och nu ytterligare förbättrat genom dynamisk signalbearbetning, inklusive AGC (Auto Gain Control) och AOC (Auto Offset Control). Den här kombinationen –som är helt inbyggd i läshuvudet – ger signaler som är oöverträffade när det gäller renhet och som ger ultralåga SDE-fel (Sub-Divisional Error) på bara ±30 nm. Resultatet är jämnare hastighetsstyrning för förbättrad skanningsprestanda och ökad positionsstabilitet, vilket i sin tur hjälper till att minimera värmeuppbyggnad i motorer inne i vakuumet; kritiskt viktiga parametrar för vakuumapplikationer, allt i ett kompakt läshuvud.

Snabbare och enklare installation

En lysdiod för inställning på läshuvudet ger en visuell indikation av signalstorleken och med mjukvaran för diagnostik kan systemets prestanda kontrolleras med fjärrstyrning när läshuvudet är dolt inne i maskinen. Kalibrering av referensmarkeringen och inkrementella signaler utförs med en knapptryckning utan mekanisk justering eller ytterligare diagnostikverktyg. En IN-TRAC optisk referensmarkering som kan väljas av kunden är inbäddad i den inkrementella skalan för att ge ett kompakt utförande och förenkla uppriktningen. Detta ger en output för referensmarkering som är dubbelriktat repeterbar till enheten för upplösningen över hela intervallet av drifttempereratur och hastighet.

Alternativ för gränssnitt

TD-gränssnitt (dual resolution)

  • Valbar kvadraturutmatning med dual-resolution.
  • Idealiskt för applikationer som kräver höghastighetsrörelser kombinerat med rörelser med högre upplösning.
Ti-gränssnitt (rektangulärt)

DOP-gränssnitt (dual output)

  • Ger samtidiga digitala kvadratur- och 1 Vpp-signaler.
  • Konstruerad för applikationer som kräver att en eller flera åtgärder synkroniseras med en rörelseaxel.TONiC Dual Output (DOP)-gränssnitt

DSi (Dual Signal interface)

  • Renishaws DSi kombinerar de inkrementella signalerna från två TONiC-läshuvuden på en RESM20-ring (REST20-ring för applikationer med partiell rotation) för att kompensera för effekten av lagervandring och eliminerar övertonsfel, inklusive excentricitet för att ge en total installerad noggrannhet på normalt ±2,0 bågsekunder.TONiC Dual Signal-gränssnitt med RESM roterande ring

Tillbehörspaket för diagnostik

TONiC™ diagnostikpaket (programvara och hårdvara)

TONiC diagnostikprogramvara kan användas för att optimera installationen av TONiC-pulsgivare och möjliggör snabb och fullständig systemkalibrering. Programvaran måste användas tillsammans med TONiC-diagnostikhårdvaran som kan beställas från Renishaw med detaljnummer A-9411-0011. Hårdvaran ansluts till en PC via en USB-kabel (medföljer i paketet) eller med kundens elektronik.

Läs mer om TONiC-diagnostikpaketet.

Tekniska data

Mätningsstandard

RESM20: lågprofilring tillverkad i ett stycke i rostfritt stål. Standard ”A”-sektion med konad innerdiameter eller ”B”-sektion med låg tröghet

Finns också tillgänglig för applikationer med partiell rotation som REST20

Läshuvudsstorlek (LxHxB)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skalans upplösning

20 μm

Värmeutvidgningskoefficient vid 20 °C15,5 ±0,5 μm/m/°C

Ringens ytterdiameter

52 mm till 550 mm. För större specialanpassade storlekar, kontakta Renishaw

Linjeantal

8 192 till 86 400 (beroende på ringens storlek)

Referensmarkering

RESM20: ring med en enda IN-TRAC-referensmarkering

REST20: ring med två referensmarkeringar för applikationer med partiell rotation

Noggrannhet*

Graderingsnoggrannhet

Systemnoggrannhet


±3,97 till ±0,38 bågsekunder (beroende på ringens diameter)

±4,20 till ±0,40 bågsekunder (beroende på ringens diameter)

Maximal hastighet

Analog

Digital

(Se datablad för detaljerad information)

3 673 rpm vid –3 dB (på 52 mm RESM20)

3 673 rpm (TONiC med 5 μm upplösning TONiC på 52 mm RESM20)

SDE (Sub-Divisional Error)

Normalt < ±30 nm

Dynamisk signalstyrning

Signalbearbetning i realtid inklusive AGC (Auto Gain Control) och AOC (Auto Offset Control) för optimerad prestanda under användning

Inkrementella signaler

Analog

Digital

(Se datablad för information om vinkelupplösningar)

1 Vpp (20 μm period)

Upplösning från 5 μm till 1 nm

Elektrisk anslutning

Kabellängder på 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m och 10 m med minikontakt (ansluts direkt till TONiC-gränssnittet)

Strömförsörjning

5 V ±10 %, < 100 mA (analogt system), < 200 mA (digitala system) (ej terminerad)

Läshuvudets energiförbrukning< 100 mA

Vibration (under drift)

100 m/s2 max @ 55 Hz till 2 000 Hz

Stötar (ej under drift)

1 000 m/s2, 6 ms, ½ sinus

Drifttemperatur (system)

0 °C till +70 °C

Bake out-temperatur (ej under drift)

120 °C (endast läshuvud och skala)

Försegling

Läshuvud: IP20

Gränssnitt: IP20

Kabelutförande

Förtennad, kopparflätad, enkelavskärmad, FEP-kärneisolering


* Systemets noggrannhet är graderingsfelet plus SDE. Graderingsnoggrannheten är den maximala skillnaden mellan vinkeln som mäts av ett enda läshuvud och den verkliga rotationen hos pulsgivaren enligt graderingen. Applikationsstörningar såsom excentricitet ingår inte.

Se datablad för fullständig information.