TONiC™ UHV inkrementellt pulsgivarsystem med RESM20 roterande (vinkel) ring
Egenskaper
- Läshuvudstorlek: 35 x 13,5 x 10 mm
- Upplösningar ner till 1 nm
- Hastighet upp till 3 673 rpm
- Extremt lågt Sub-Divisional Error (SDE): normalt < ±30 nm
- Optisk IN-TRAC™ referensmarkering
Fördelar
- UHV (Ultrahögt vakuum)
- Lågprofilring med stor innerdiameter för enkel integrering
- Superkompakt pulsgivarläshuvud med dynamisk signalbehandling för förbättrad rörelsestyrning
- Diagnostikpaketet för att underlätta utmanande installationer och hjälpa till med systemoptimering.
Vad är TONiC UHV?
TONiC UHV tar med sig Renishaws kompakta, kontaktfria pulsgivarsystem till ultrahögt vakuum och erbjuder kunderna förbättrad rörelsestyrning.
TONiC möjliggör hastigheter upp till 10 m/s och, när det kombineras med Ti-gränssnittet, upplösningar ner till 1 nm, för både linjära och roterande applikationer. TONiC-system är snabba och enkla att installera med stora inställningstoleranser och kalibrering med en knapptryckning. TONiCs dynamiska signalbehandling ger förbättrad signalstabilitet med ett extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error) på normalt < ±30 nm för att hjälpa till att uppnå överlägsen prestanda för rörelsestyrning.
Vad är en RESM20-ring?
RESM20 är en ring tillverkad i ett stycke i rostfritt stål med gradering med 20 µm upplösning, markerad direkt på omkretsen, med IN-TRAC™ optisk referensmarkering. Två versioner finns tillgängliga i flera olika storlekar (Ø52 mm till Ø550 mm). "A"-sektionringar, som har en imponerande installerad noggrannhet, har ett koniskt monteringssystem som minskar behovet av bearbetade delar med hög tolerans och eliminerar excentriciteten. ”B”-sektionringar, som är tunna och har låg tröghet och massa, finns också tillgängliga. Både "A"- och "B"-sektionringar har en stor innerdiameter för flexibel integration i UHV-applikationer. Det beröringsfria formatet eliminerar glapp, axelvridning (torsion) och andra mekaniska hysteresfel som påverkar traditionella kapslade pulsgivare.
Varför välja detta pulsgivarsystem?
UHV (Ultrahögt vakuum)
Läshuvudet TONiC UHV tar prestandan hos standard TONiC och levererar den i ett läshuvud som har utformats och konstruerats med UHV-kompatibla material och processer, vilket gör den lämplig för UHV-miljöer ner till 10-10 Torr.
Utbudet av TONiC UHV-pulsgivare och tillbehör är tillverkade av vakuumkompatibla material och limmaterial för att ge låga förångningsvärden och beprövat ren restgasanalys (RGA), vilket gör dem lämpliga för många applikationer, inklusive hantering/testning av halvledarskivor, vetenskapliga instrument, spektroskopi, vakuumkontrollutrustning och mycket mer.
Enastående mätprestanda
TONiC-pulsgivare använder Renishaws beprövade filtreringsoptik och avancerad signalbehandling. Auto Gain Control (AGC) och Auto Offset Control (AOC) teknologierna reducerar det analogt signalbrus och digitalt jitter i läshuvudet.
TONiC-pulsgivare erbjuder enastående lågt signalutgångsjitter på <±0.5 nm RMS och lågt Sub-Divisional Error på <±30 nm, så att systemen kan hålla positionen bättre och alstra mindre värme i linjära motorapplikationer. Lågt jitter möjliggör även jämnare hastighetskontroll i högprecisionsapplikationer vid manövrer i låg hastighet.
Flexibel konfiguration
TONiC-serien erbjuder ett antal externa gränssnitt som kan konfigureras till att uppfylla användningsområdets krav på hastighet och upplösning. Med integration av sena steg och konfiguration av externa gränssnitt, erbjuder ett mångsidigt TONiC-läshuvud många alternativ för slutanvändarens anpassning.
TONiC-gränssnittets alternativ erbjuder digitala, analoga eller dubbla utgångar med både digitala och analoga signaler. TD (dual resolution) gränssnittet erbjuder valbar utmatning i dubbel upplösning, och DPI-gränssnittet finns även tillgängligt för applikationer med utskrift i brett format. Flexibiliteten hos TONiC-pulsgivarens konfigurationer tillåter OEM:er att dra nytta av överlägsen rörelsestyrning och hög genomströmning i många olika applikationer.
Alternativ för gränssnitt
TD-gränssnitt (dual resolution)
- Valbar kvadraturutmatning med dual-resolution.
- Idealiskt för applikationer som kräver höghastighetsrörelser kombinerat med rörelser med högre upplösning.
DOP-gränssnitt (dual output)
- Ger samtidiga digitala kvadratur- och 1 Vpp-signaler.
- Konstruerad för applikationer som kräver att en eller flera åtgärder synkroniseras med en rörelseaxel.
DSi (Dual Signal interface)
- Renishaws DSi kombinerar de inkrementella signalerna från två TONiC-läshuvuden på en RESM20-ring (REST20-ring för applikationer med partiell rotation) för att kompensera för effekten av lagervandring och eliminerar övertonsfel, inklusive excentricitet för att ge en total installerad noggrannhet på normalt ±2,0 bågsekunder.
Tillbehörspaket för diagnostik
TONiC diagnostikprogramvara kan användas för att optimera installationen av TONiC-pulsgivare och möjliggör snabb och fullständig systemkalibrering. Programvaran måste användas tillsammans med TONiC-diagnostikhårdvaran som kan beställas från Renishaw med detaljnummer A-9411-0011. Hårdvaran ansluts till en PC via en USB-kabel (medföljer i paketet) eller med kundens elektronik.
Läs mer om TONiC-diagnostikpaketet.
Tekniska data
Mätningsstandard | RESM20: lågprofilring tillverkad i ett stycke i rostfritt stål. Standard ”A”-sektion med konad innerdiameter eller ”B”-sektion med låg tröghet Finns också tillgänglig för applikationer med partiell rotation som REST20 |
Läshuvudsstorlek (LxHxB) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Skalans upplösning | 20 μm |
| Värmeutvidgningskoefficient vid 20 °C | 15,5 ±0,5 μm/m/°C |
Ringens ytterdiameter | 52 mm till 550 mm. För större specialanpassade storlekar, kontakta Renishaw |
Linjeantal | 8 192 till 86 400 (beroende på ringens storlek) |
Referensmarkering | RESM20: ring med en enda IN-TRAC-referensmarkering REST20: ring med två referensmarkeringar för applikationer med partiell rotation |
Noggrannhet* Graderingsnoggrannhet Systemnoggrannhet | ±3,97 till ±0,38 bågsekunder (beroende på ringens diameter) ±4,20 till ±0,40 bågsekunder (beroende på ringens diameter) |
Maximal hastighet Analog Digital | (Se datablad för detaljerad information) 3 673 rpm vid –3 dB (på 52 mm RESM20) 3 673 rpm (TONiC med 5 μm upplösning TONiC på 52 mm RESM20) |
SDE (Sub-Divisional Error) | Normalt < ±30 nm |
Dynamisk signalstyrning | Signalbearbetning i realtid inklusive AGC (Auto Gain Control) och AOC (Auto Offset Control) för optimerad prestanda under användning |
Inkrementella signaler Analog Digital | (Se datablad för information om vinkelupplösningar) 1 Vpp (20 μm period) Upplösning från 5 μm till 1 nm |
Elektrisk anslutning | Kabellängder på 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m och 10 m med minikontakt (ansluts direkt till TONiC-gränssnittet) |
Strömförsörjning | 5 V ±10 %, < 100 mA (analogt system), < 200 mA (digitala system) (ej terminerad) |
| Läshuvudets energiförbrukning | < 100 mA |
Vibration (under drift) | 100 m/s2 max @ 55 Hz till 2 000 Hz |
Stötar (ej under drift) | 1 000 m/s2, 6 ms, ½ sinus |
Drifttemperatur (system) | 0 °C till +70 °C |
Bake out-temperatur (ej under drift) | 120 °C (endast läshuvud och skala) |
Försegling | Läshuvud: IP20 Gränssnitt: IP20 |
Kabelutförande | Förtennad, kopparflätad, enkelavskärmad, FEP-kärneisolering |
* Systemets noggrannhet är graderingsfelet plus SDE. Graderingsnoggrannheten är den maximala skillnaden mellan vinkeln som mäts av ett enda läshuvud och den verkliga rotationen hos pulsgivaren enligt graderingen. Applikationsstörningar såsom excentricitet ingår inte.
Se datablad för fullständig information.