Hoppa över navigering

TONiC™ UHV inkrementellt pulsgivarsystem med RKLC-20S linjär skala

Egenskaper

  • Läshuvudstorlek: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Upplösningar ner till 1 nm
  • Hastighet upp till 10 m/s
  • Analog eller digital utmatning
  • Extremt lågt Sub-Divisional Error (SDE): normalt < ±30 nm
  • Optisk IN-TRAC™-referensmarkering som kan väljas av kunden

Fördelar

  • UHV (Ultrahögt vakuum)
  • Smal 6 mm bred skala lämplig för applikationer i begränsade utrymmen
  • Substratanpassad skala ger förbättrad metrologi
  • Superkompakt pulsgivare med dynamisk signalbehandling för förbättrad rörelsestyrning
  • Kan bekvämt skäras till önskad längd
  • Hög tålighet mot smuts och lösningsmedel
Genomskinligt område för webbplats-banners

Vad är TONiC UHV?

TONiC UHV tar med sig Renishaws extremt kompakta, kontaktfria pulsgivarsystem till Ultrahögt vakuum-applikationer och erbjuder kunderna förbättrad rörelsestyrning.

TONiC möjliggör hastigheter upp till 10 m/s och, när det kombineras med Ti-gränssnittet, upplösningar ner till 1 nm, för både linjära och roterande applikationer. TONiC-system är snabba och enkla att installera med stora inställningstoleranser och kalibrering med en knapptryckning. TONiCs dynamiska signalbehandling ger förbättrad signalstabilitet med ett extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error) på normalt < ±30 nm för att hjälpa till att uppnå överlägsen prestanda för rörelsestyrning.

Vad är RKLC20-S-skalan?

RKLC20-S är en smal tejpskala med låg profil av rostfritt stål med inkrementella graderingar med 20 µm upplösning och IN-TRAC-referensmarkeringar som fritt kan väljas av kunden. Den har en noggrannhet på ±5 µm/m och finns tillgänglig i längder upp till 20 meter (> 20 meter tillgängligt på begäran). RKLC20-S anpassas till maskinens substrat vilket ger förbättrad metrologi när skalans ändar är fast monterade på substratet.

Varför välja detta pulsgivarsystem?

UHV (Ultrahögt vakuum)

Läshuvudet TONiC UHV tar prestandan hos standard TONiC och levererar den i ett läshuvud som har utformats och konstruerats med UHV-kompatibla material och processer, vilket gör den lämplig för UHV-miljöer ner till 10-10 Torr.

Utbudet av TONiC UHV-pulsgivare och tillbehör är tillverkade av vakuumkompatibla material och limmaterial för att ge låga förångningsvärden och beprövat ren restgasanalys (RGA), vilket gör dem lämpliga för många applikationer, inklusive hantering/testning av halvledarskivor, vetenskapliga instrument, spektroskopi, vakuumkontrollutrustning och mycket mer.

Ultimat pålitlighet och prestanda med en kompakt storlek

För bästa tillförlitlighet, konsekventa prestanda och ordentligt skydd mot smuts har TONiC-läshuvuden tredje generationens filtrerande optik som ställts in för ännu lägre brus (jitter). Den är ytterligare förbättrad genom dynamisk signalbearbetning inklusive automatisk förstärkningsreglering (Auto Gain Control) samt automatisk förskjutningsreglering (Auto Offset Control). Denna kombination – som är helt inbyggd i läshuvudet – ger signaler med oöverträffad renhet och extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error) på normalt < ±30 nm. Resultatet är en jämnare hastighetsstyrning för bättre skanningsprestanda och högre positionsstabilitet – avgörande parametrar för många tillämpningar, allt i ett kompakt läshuvud.

Smal, robust och mångsidig skala

RKLC är en robust, 6 mm bred pulsgivartejpskala i rostfritt stål med en tjocklek på 0,15 mm. Detta möjliggör att skalan, när den är fast monterad på en maskinaxel, blir ”anpassad” till maskinens substrat och matchar dess värmeutvidgningskoefficient och beteende. Olika förflyttning av skalan och maskinen minimeras därmed.

Indexpositioner tillhandahålls av IN-TRAC optiska referensmarkeringar som är direkt inbäddade i de inkrementella skalmarkeringarna för att möjliggöra automatisk fasning. Denna kompakta design av skalan underlättar installationen av pulsgivare i applikationer med begränsade utrymmen. RKLC-tejpskalan kombinerar också en noggrannhet på ±5 µm/m med den mekaniska och kemiska tåligheten hos rostfritt stål, enkel hoprullning och ”skär till önskad längd”-bekvämlighet.

Alternativ för gränssnitt

TD-gränssnitt (dual resolution)

  • Valbar kvadraturutmatning med dual-resolution. Ti-gränssnitt (rektangulärt)
  • Idealiskt för applikationer som kräver höghastighetsrörelser kombinerat med rörelser med högre upplösning.

DOP-gränssnitt (dual output)

  • Ger samtidiga digitala kvadratur- och 1 Vpp-signaler.
  • Konstruerad för applikationer som kräver att en eller flera åtgärder synkroniseras med en rörelseaxel.TONiC Dual Output (DOP)-gränssnitt

Tillbehörspaket för diagnostik

TONiC™ diagnostikpaket (programvara och hårdvara)

TONiC diagnostikprogramvara kan användas för att optimera installationen av TONiC-pulsgivare och möjliggör snabb och fullständig systemkalibrering. Programvaran måste användas tillsammans med TONiC-diagnostikhårdvaran som kan beställas från Renishaw med detaljnummer A-9411-0011. Hårdvaran ansluts till en PC via en USB-kabel (medföljer i paketet) eller med kundens elektronik.

Läs mer om TONiC-diagnostikpaketet.

Tekniska data

Mätningsstandard

Smal tejpskala i rostfritt stål med självhäftande tejp, för montering direkt på ett substrat

Läshuvudsstorlek (LxBxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skalans upplösning

20 μm

Värmeutvidgningskoefficient

Matchas till substratmaterialet när skalans ändar fästs ordentligt vid substratet

Noggrannhetsklass vid 20 °C

±5 μm/m

Referensmarkering

IN-TRAC-referensmarkeringar direkt inbäddade på RKLC-S

Väljarmagnet används för att identifiera valda referensmarkeringar

Gränslägesbrytare

Dubbelt eller enkelt gränsläge (välj vid beställningstillfället)

Skalans längd

Upp till 20 m (> 20 m på begäran)

Skalans form (H x B)0,15 mm x 6 mm inklusive självhäftande tejp

Maximal hastighet

Analog

Digital

(Se datablad för detaljerad information)

Upp till 10 m/s vid -3 dB

Upp till 10 m/s

SDE (Sub-Divisional Error)

Normalt < ±30 nm

Dynamisk signalstyrning

Signalbearbetning i realtid inklusive AGC (Auto Gain Control) och AOC (Auto Offset Control) för optimerad prestanda under användning

Inkrementella signaler

Analog

Digital


1 Vpp (20 μm period)

Upplösningar från 5 µm till 1 nm

Elektrisk anslutning

Kabellängder på 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m och 10 m med minikontakt (ansluts direkt till TONiC-gränssnittet)

Strömförsörjning

5 V ±10 %, < 100 mA (analogt system), < 200 mA (digitala system) (ej terminerad)

Vibration (under drift)

100 m/ s2 max @ 55 Hz till 2 000 Hz

Stötar (ej under drift)

500 m/s2, 11 ms, ½ sinus, 3 axlar

Drifttemperatur (system)

0 °C till +70 °C

Bake out-temperatur (ej under drift)120 °C (endast läshuvud och skala)

Försegling

Läshuvud: IP20

Gränssnitt: IP20

KabelutförandeFörtennad, kopparflätad, enkelavskärmad, FEP-kärneisolering

Se datablad för fullständig information.